13个 光刻机光罩(光刻掩膜版) 来自台湾聯穎光電Wavetech Microelectronics生产

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BJ240222-363 G2-3A
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BJ240222-363 G2-3A WP
光掩模(13个)

掩膜版又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微电子制造过程中的图形转移工具或母版,是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。根据客户所需要的图形,掩膜版厂商通过光刻制版工艺,将微米级和纳米级的精细图案刻制于掩膜版基板上(掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微细光掩膜图形的感光空白板),随后再将不需要的金属层和胶层洗去,即得到掩膜版产成品。掩膜版对下游行业生产线的作用主要体现为,利用掩膜版上已设计好的图案,通过透光与非透光的方式进行图像(电路图形)复制,从而实现批量生产。
作为光刻复制图形的基准和蓝本,掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键,掩膜版的精度和质量水平会直接影响最终下游制品的良率。
掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”:将设计者的电路图形通过曝光的方式转移到下游行业的基板或晶圆上,从而实现批量化生产。作为光刻复制图形的基准和蓝本,掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键,掩膜版的精度和质量水平会直接影响最终下游制品的优品率。掩模版是光刻工艺中的关键耗材,对于光刻工艺的重要性不弱于光刻机、光刻胶。