美国应用材料 AMAT 0040-84651 Rev 2 300MM L-motion / slit valve door 半导体设备 耐腐蚀密封挡板 Artsemi

• 核心件号：0040-84651 REV 002（主物料号，REV 002 代表版本/修订号）。

• 次级件号：300535-5210-0006

买家核验建议

• 设备平台：Centura / Endura / Producer / 其他
• 晶圆尺寸：300mm（12"）
• 安装位置：Load Lock、Transfer、Process chamber slit valve port
• 件号 + REV：0040-84651 / REV 002
• 密封面材质、O-ring 槽、安装孔位、COR 涂层状态